Описание системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии мощных устройств) 4200A-SCS-PK3:
Комплект для измерения ВАХ и CV-метрии мощных устройств 4200A-SCS-PK3. В состав комплекта входят: 4200A-SCS (1 шт) - базовый блок параметрического анализатора; 4200-SMU (2 шт) - измерительный модуль средней мощности; 4210-SMU (2 шт) - измерительный модуль большой мощности; 4200-PA (2 шт) - токовый предусилитель; 4210-CVU (1 шт) - опция CV-метрии; 8101-PIV (1 шт) - оснастка для подключения тестируемых компонентов.
Система 4200A-SCS – универсальная система для измерения вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе, С-V метрии (снятие вольт-фарадных характеристик) на переменном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.
Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.
Система измерения параметров полупроводников 4200A-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств:
Назначение системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии мощных устройств) 4200A-SCS-PK3:
- Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В;
- Измерения на переменном токе (C-V, C-f, C-t) в диапазоне до 420 В с разрешением 1 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
- Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 5 нс;
- Автоматическое переключение между режимом измерения ВАХ и CV-метрией.
Особенности системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии мощных устройств) 4200A-SCS-PK3:
- Встроенная рабочая станция на базе ОС Windows 7;
- Сенсорный 15,6" ЖК монитор высокого разрешения (1920x1080);
- Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно;
- Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности;
- Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультранизкочастотную CV-метрию;
- Опциональное измерение высоковольтных вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В;
- Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (Clarius) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования;
- Библиотека до 450 стандартных тестов;
- Широкий набор интерфейсов и портов: USB, SVGA, Printer, GPIB, Ethernet, mouse, Keyboard.
Измерительные модули:
Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе в четырехквадрантной области (измерение/генерация). Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200-SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU.
Модули средней мощности 4200-SMU:
- 7 токовых диапазонов для генерации и измерения:
от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения;
от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации.
- 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
от 200 мВ до 200 В.
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
Максимальное выходное напряжение:
21 В при токе 100 мА;
210 В при токе 10 мА.
- Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
Модули большой мощности 4210-SMU:
- 9 токовых диапазонов для генерации и измерения:
от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения;
от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации.
- 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
от 200 мВ до 200 В.
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
Максимальное выходное напряжение:
21 В при токе 1 А;
210 В при токе 10 мА.
- Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
Токовый предусилитель 4200-PA:
Расширяет токовые диапазоны дополнительно:
1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик:
С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:
- встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU;
- опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER;
- квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU
с опцией 4200-PA;
- новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA.
Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.
Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:
- тестовый сигнал:
частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
разрешение тестового сигнала 1 кГц, 10 кГц, 100 кГц, 1 МГц в зависимости от диапазона;
точность частоты ±0,1%;
выходной уровень 10 мВ...100 мВ;
разрешение 1 мВскз;
точность±(10%+1 мВскз)
- внутренний источник постоянного смещения:
диапазон ±30 В (60 В диф.);
разрешение 1 мВ;
точность±(0,5%+5 мВ);
максимальный ток 10 мА;
- режим свипирования:
параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение;
закон: линейный,пользовательский;
направление: вверх, вниз;
количество точек: 4096;
- измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta;
- выходные интерфейсы: 4 SMA (female).
Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.
