Интерферометры OptoTI 60/125

Maqsad

OptoTl 60/125 interferometrlari (keyingi o'rinlarda interferometrlar deb yuritiladi) optik qismlar sirtlarining tekisligidan va sharsimonligidan og'ishlarni o'lchash uchun mo'ljallangan.

Tavsif

Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между эталонной поверхностью сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.

Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 60 мм. После расширителя в зависимости от измеряемой поверхности устанавливают плоские или сферические насадки, формирующие эталонный волновой фронт.

Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.

В результате один волновой фронт - эталонный - формируется при прохождении через насадку. Другой - предметный - отражается и искажается поверхностью контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. При этом образуется интерференционная картина.

Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.

В зависимости от комплектации после расширителя может устанавливаться плоская в виде телескопической системы для измерений плоских поверхностей насадка или сферическая в виде объективов для измерений сферических поверхностей насадка.